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    脈沖電源的reverse time

    磁控濺射領域里,脈沖電源一般指的是直流脈沖電源,顧名思義,一就是直流輸出以脈沖通斷的形式加載在陰極上。

    而常用的脈沖電源,如AE pinnacle plus+,韓國EN以及德國霍廷格均有相關型號。

    Pinnacle plus 可調頻率從5kHz~350kHz。非常適合新涂層開發。其可以采用恒功率輸出,恒電壓輸出,橫電流輸出三種模式。其中可調的參數除了脈沖頻率,還包含reverse time。何謂reverse time呢?顧名思義,常規輸出周期為負電壓,而其余周期內電壓并不為零,表現為正電壓,也就是我們常說的反向偏壓。如下圖:


    而反向偏壓的維持周期也就是reverse time,中文稱之為脈寬。脈沖周期減去脈寬等于一個周期的電源實際工作時間。

    反向電壓的好處有幾個:

    一、可以在正電壓周期內,中和靶面的多余電荷,避免靶材中毒情況的發生。

    二、減少起弧打火的幾率,避免結瘤。

    三、促進正離子轟擊基片,從而獲得更致密膜層。

    所以,根據不同的靶材以及工藝需要,調節合適的reverse time參數顯得十分重要。

    目前,個別場合中頻已經取代了脈沖電源在使用,但是科研新材料工藝以及刀具涂層領域,脈沖電源仍然具有無可匹敵的優勢。


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