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    DLC 類金剛石薄膜

       類金剛石薄膜通常又被人們稱為DLC薄膜,是英文詞匯Diamond Like Carbon的簡稱,它是一類性質近似于金剛石,具有高硬度,高電阻率。良好光學性能等,同時又具有自身獨特摩擦學特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之間的不同結合方式,從而使其最終產生不同的物質:金剛石(diamond)—碳碳以 sp3鍵的形式結合;石墨(graphite)—碳碳以sp2鍵的形式結合,
    而類金剛石(DLC)—碳碳則是以sp3和 sp2鍵的形結合,生成的無定形碳的一種亞穩定形態,它沒有嚴格的定義,可以包括很寬性質范圍的非晶碳,因此兼具了金剛石和石墨的優良特性;所以由類金剛石而來的DLC膜同樣是一種亞穩態長程無序的非晶材料,碳原子間的鍵合方式是共價鍵,主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵,而在含氫的DLC膜中還存在一定數量

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