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    真空鍍膜設備的操作原理和應用行業

    真空鍍膜設備的操作原理和應用行業

    一、電控柜的操作
    1. 開水泵、氣源
    2. 開總電源
    3. 開維持泵、真空計電源,真空計檔位置V1位置,等待其值小于10后,再進入下一步操作。約需5分鐘。
      離子鍍膜設備+所鍍產品圖
    4. 開機械泵、予抽,開渦輪分子泵電源、啟動,真空計開關換到V2位置,抽到小于2為止,約需20分鐘。
    5. 觀察渦輪分子泵讀數到達250以后,關予抽,開前機和高閥繼續抽真空,抽真空到達一定程度后才能開右邊的高真空表頭,觀察真空度。真空到達2×10-3以后才能開電子槍電源。
    二、DEF-6B電子槍電源柜的操作
    1. 總電源
    2. 同時開電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源:按電子槍控制Ⅰ電源、延時開關,延時、電源及保護燈亮,三分鐘后延時及保護燈滅,若后門未關好或水流繼電器有故障,保護燈會常亮。
    3. 開高壓,高壓會達到10KV以上,調節束流可到200mA左右,簾柵為20V/100mA,燈絲電流1.2A,偏轉電流在1~1.7之間擺動。
    三、關機順序
    1. 關高真空表頭、關分子泵。
    2. 待分子泵顯示到50時,依次關高閥、前級、機械泵,這期間約需40分鐘。
    3. 到50以下時,再關維持泵。[1]
    編輯本段

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